相對于傳統的濕法蝕刻，激光蝕刻不直接接觸材料表面、CAD圖紙直寫，無須掩模，因此可靠性更強，良率更高，一致性更好，蝕刻線寬大小可調，圖形任意，該技術已經廣泛應用于觸摸屏，LCD，PDP，電子書，OLED等工業生產。而在其他應用領域，尤其是一些更高要求的多層次材料的選擇性蝕刻，是其他傳統方法無法做到的。