半導體行業對產品的質量,可靠性和設備產能等都有著相當嚴格的要求,它是目前中國乃至亞洲地區發展最快、前景最好的行業。如今越來越多的激光應用在被其嘗試和被導入其制程中,如硅晶圓劃片,陶瓷精密鉆孔,玻璃切割等等。此外,MEMS是其中一個脫穎而出的典型代表,德力激光有多家客戶在從事MEMS行業。
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• 晶圓即硅晶片,在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能之IC產品,用于集成電路。
• 德力激光可對晶圓進行各類加工,速度快,效率高,效果好。
• 可加工厚度:2mm以下。
• 精度:+-10um.
• 可進行各種不規則加工。
•材料厚度:1mm以下
•最小孔徑:0.05mm
•可根據客戶定制各種樣式。
最小厚度:1mm
精度:0.005mm(視材料厚度而定)
平整均勻無毛刺,無刮花,無蝕刻麻點及瑕疵點
晶硅電路基板打孔/硅基板LED打孔
硅作為基板材料,具有熱導率高、成本低、化學惰性和不透水性好、理想的機械性能、良好的一致性和可控性。
材料厚度:1mm以下
最小孔徑:0.05mm
可根據客戶定制各種規格
光學濾光片是用來消除紅外光以及修整進來的光線,由于藍色波長有較高的穿透率?捎糜谛枰拚伾虮憩F藍色且需低反射的光學儀器或檢測設備中,如視訊鏡頭慮片、自動光學檢測、光學儀器、檢測儀器。德力激光可切割各種規則與不規則形狀的濾光片,且具有良好的邊緣質量。
氮化鋁陶瓷基板精密切割和鉆孔
適應材料厚度:0.1mm~2mm
氮化鋁陶瓷基板精密切割和鉆孔
適應材料厚度:0.1mm~2mm
最小孔徑: 30微米
精度:5微米
側壁光滑無毛刺,可適應鍍層等后續工藝

普通玻璃/鍍膜玻璃切割激光精密刻槽、劃片、切割
玻璃厚度: 0.1~3mm
崩邊小于50微米
切割邊緣光亮無毛刺,利用高階激光器可達到無崩邊


•描述:硼硅玻璃鉆孔
材料厚度:0.8毫米
孔直徑: 800micron
適用于半導體行業

•描述:精密激光鉆孔
•厚度:0.2 -3mm
孔直徑:30- 1000micron

•描述:薄膜精密鉆孔

材料厚度: 80micron
孔直徑: 50micron
適用于印刷業
描述:激光晶圓切割0.5mm玻璃+ 0.24mm硅